敞開式直線光柵尺

敞開式直線光柵尺設(shè)計(jì)用于對(duì)測(cè)量精度要求*的機(jī)床和系統(tǒng)。

典型應(yīng)用包括：

• 半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
• PCB電路板組裝機(jī)
• 超高精度機(jī)床
• 高精度機(jī)床
• 測(cè)量機(jī)和比較儀，測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備
• 直驅(qū)電機(jī)

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